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Zheng et al., 2012 - MFT-4000

來源: 華匯儀器作者: D. Hosner 時(shí)間: 2016-10-29 點(diǎn)擊: 1640 次

Zheng, J.Y., Hao, J.Y., Liu, X.Q., Liu, W.M., Properties of TiN/TiCN multilayer films by direct current magnetron sputtering. Journal of Physics D: Applied Physics (45, 9), Article id. 095303, 2012, 9pp.

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